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spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc

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spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc

spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc

spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc



vtc-16-sm è un ad alta potenza del desktop magnetron spalmatore al plasma con un testa target 2 "raffreddamento ad acqua , refrigeratore d'acqua e supporto del campione ruotabile. l'unità di rivestimento è progettata per il rivestimento di tutti i film metallici fino a Wafer di diametro 4 " Compreso zn, al, ti e carbon film leggero ad un costo accessibile. un obiettivo è incluso per l'uso immediato. ( dal 18 maggio 2015, questo prodotto non viene più fornito con pompa per vuoto in confezione standard. )

specificazioni

tensione di ingresso

  • 220 vac 50 / 60hz
  • L'alimentazione a 110 v è disponibile utilizzando a Trasformatore da 1000 w (15 a fusibile ). il trasformatore viene venduto separatamente.

potenza di uscita

  • 1600 vdc
  • 250 w
  • 150 ma max.
  • protezione da sovracorrente integrata (& gt; 150 ma)

camera dei campioni

  • tubo di vetro al quarzo, 165 mm od. x 150 mm id x 250 mm altezza


sputtering head & amp;
fase del campione

  • 2 "testa flessibile sputtering magnetron con camicia di raffreddamento ad acqua inclusa (fig.1)
  • uno stadio di campionamento in acciaio inossidabile con diametro di 50 mm è ruotabile da 0 a 5 giri / min
  • un otturatore azionato manualmente per la protezione del bersaglio. (Fig.2)
  • il supporto della testa sputtering è disponibile per contenere la testa sputtering mentre non è in funzione.
  • la distanza tra la testa sputtering e il palcoscenico è regolabile da 60 a 100 mm.
  • area di rivestimento massima: 4 "diametro max.
  • uno refrigeratore d'acqua ricircolo aria fredda portata 10 l / min è incluso per il raffreddamento della testina sputtering. (Fig.6)

pannello di controllo

  • Pannello di controllo touch-screen a colori da 6 "con integrazione plc per un facile utilizzo
  • un pannello per tutti i parametri di monitoraggio e controllo: vuoto, corrente.

massima pressione del vuoto

  • porta per vuoto incorporata kf25
  • il sistema richiede un serbatoio di gas ar con regolatore di pressione. (non incluso)
  • & Lt; 1.0e-2 torr di pompa a vuoto a palette (non inclusa) per target au, ag, pt, cu, mo (non sensibile all'aria)
  • & Lt; 1.0e-5 torr di pompa turbomolecolare (non inclusa) per target al, mg, li, lr, ti, zn (sensibile all'aria)
  • il vuoto più basso può raggiungere & lt; 4.0e-6 torr pompando durante la notte e cuocendo

atmosfera di gas

  • una valvola a spillo installata per consentire l'ingresso del gas ar per ottenere un migliore rivestimento al plasma
  • il sistema richiede un serbatoio di gas ar con il regolatore di pressione (non incluso)


bersaglio

· un obiettivo da 2 "in rame è incluso per il test, dimensioni obiettivo: 2" diametro 2,5 mm.

  • può anche ricoprire ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg , ecc. quasi ogni tipo di materiale metallico.
  • avvertimento : bersaglio in alluminio, cromo o nichel può essere rivestito con questa macchina, ma si prega di consultare il metodo di rivestimento consigliato prima dell'uso.
  • utilizzare sputtering al magnetron al plasma RF per il rivestimento di allumina

monitor di spessore del film opzionale

  • il monitor dello spessore del film è opzionale a un costo aggiuntivo
  • Il palcoscenico riscaldabile fino a 500 ° c è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo
  • misuratore di portata per un accurato ingresso del gas di controllo è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo.

la dimensione complessiva

  • l 440 mm × larg 330 mm × h 290 mm

peso netto

  • 20 kg

peso di spedizione e amp; dimensione

  • 160 libbre
  • 45 "x 45" x 40 "

conformità

  • approvazione ce
  • la certificazione nrtl è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo, si prega di contattare il nostro rappresentante di vendita per un preventivo.

garanzia

  • un anno limitato con supporto a vita

note applicative

  • attenzione: la testa sputtering si collega all'alta tensione. l'operatore deve indossare i guanti durante il funzionamento
  • assicurarsi che il bersaglio, la testa sputtering, il substrato e lo stadio di riscaldamento siano puliti prima del rivestimento, è necessario utilizzare carta vetrata e alcool per pulire e rinfrescare il bersaglio in al o nichel ogni volta che lo si utilizza.




Magnetron Sputtering Coater









pacchetto:

1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, confezione esterna in scatola di legno per esportazione.

2 spedizione per espresso, via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà la parte danneggiata per te gratuitamente.

tempo di consegna : 15-20 giorni dopo la conferma dell'ordine, la data di consegna dettagliata deve essere decisa secondo

stagione di produzione e quantità dell'ordine.





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