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forno compatto max.800 ° c 5 "dia wafer a due zone css per una rapida termica

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  • Contact Person : Louis Yang
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  • Indirizzo : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
forno compatto max.800 ° c 5 "dia wafer a due zone css per una rapida termica

forno compatto max.800 ° c 5 "dia wafer a due zone css per una rapida termica

  • :

    OTF-1200X-RTP-II-5
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

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forno compatto max.800 ° c 5 "dia wafer a due zone css per una rapida termica


otf-1200x-rtp-ii-5 è un forno a trattamento termico rapido con camera al quarzo da 11 "i.d. ed è progettato per evaporazione termica o css ( sublimazione ravvicinata ) rivestimento di film fino a 5 "di diametro con campioni circolari e 800 ° c max. il forno è riscaldato da due gruppi di riscaldatori alogeni (superiore e inferiore) separatamente con max. 10 ° C / s velocità di riscaldamento. due termoregolatori di precisione a 30 segmenti sono integrati con una precisione di +/- 1ºc. Il software porta e RS485 sono inclusi per consentire il funzionamento del forno e la registrazione del profilo di temperatura tramite PC. è uno strumento eccellente per la ricerca di pellicole sottili di nuova generazione per celle solari, come celle solari cdte, solfuro e perovskite.


specifiche:

struttura del forno e amp; Camera sottovuoto

· due termoregolatori.

· la camera è realizzata in tubo di quarzo fuso ad elevata purezza.

· misura del tubo al quarzo: 11 "od / 10.8" id x 9 "h

· le flange del vuoto sono realizzate in acciaio inossidabile 316.

flange di vuoto

Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS Furnace

· la flangia superiore con un'apertura di aspirazione kfd-25 e un'uscita di gas (è necessario un tubo da 1/4 ") può scorrere su o giù manualmente per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato.

· la flangia inferiore ha una porta per vuoto kfd-25 con un ingresso per gas (è necessario un tubo da 1/4 ") con valvole a spillo.

· la flangia è sigillata da doppi anelli di tenuta in silicone e può raggiungere max. la pressione del vuoto di 10e-2 torr da una pompa meccanica di qualità e 10e-5 torr da una pompa molecolare (la pompa da vuoto non è inclusa, da ordinare separatamente).

· un vacuometro digitale è installato sulla flangia superiore.

· Il vacuometro digitale anticorrosivo di precisione è in confezione standard (dal 2016.03.24) .

controllo del flusso di gas

Two Zones CSS Furnace



miscelatore di gas integrato con due galleggianti con campi di misura regolabili di 16 -160 ml / m

riscaldatore e portacampioni
Two Zones CSS Furnace

· due riscaldatori controllati indipendentemente con uno spazio regolabile manualmente da 2 a 30 mm.

· Le lampade alogene da 20 pezzi sono utilizzate come elemento riscaldante per un rapido trattamento termico.

· i riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con camicia fredda per ridurre le radiazioni di calore e consentire un raffreddamento rapido.

· 5 "di diametro. Il supporto per wafer circolare è incorporato nel riscaldatore superiore per trattenere il substrato.

· è incluso un set di piastre aln termoconduttive o piastra in grafite (5 "di diametro x 0,5 mm di spessore) (posizionare sul fondo per l'evaporazione del materiale)

· un refrigeratore d'acqua circolante da 58l / min è incluso per il risparmio della fonte d'acqua (fare clic sull'immagine qui sotto per vedere le specifiche dettagliate).

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace


regolatore di temperatura

· due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono un controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore.

· ogni controller ha la funzione di autotune pid per proteggere i riscaldatori dal superamento e una funzione di allarme per evitare il surriscaldamento e una coppia termica viene rotta.

· interfaccia di comunicazione per PC e amp; il software è installato per la registrazione del profilo di temperatura mostrato di seguito.

·Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



temperatura di lavoro

· temperatura massima per ciascun riscaldatore: & lt; = 800ºc.

· differenza di temperatura massima tra due riscaldatori: & lt; = 300ºc dipende dalla distanza tra due riscaldatori:

o distanza 30mm max. differenza di temperatura: 315ºc @ solo riscaldamento inferiore

riscaldamento e amp; velocità di raffreddamento

· riscaldamento: & lt; 8ºc / s (solo riscaldamento singolo riscaldatore)

· raffreddamento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.

coppia termale

due coppie termiche di tipo k sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore.

tensione di lavoro

Richiede un interruttore 220vac, monofase, 60a

Requisiti di potenza

9.5kw totali

dimensioni

Two Zones CSS Furnace 1085mm l x 680mm w x 1710mm h

peso di spedizione e amp; dimensione

· due pallet: 525 libbre e 48 "x 40" x 87 "e 165 libbre con dimensione 39x31x29"





opzionale

· è necessaria una pompa per vuoto. si prega di ordinare separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra in basso. il livello di vuoto può raggiungere & lt; = 10e-2 torr con pompa meccanica.

· se si utilizza gas corrosivo, considerare di utilizzare la pompa a secco anticorrosiva mostrata nella seconda immagine da sinistra in basso (pompa pfeiffer dalla Germania) a un costo aggiuntivo.

· puoi scegliere il sistema di consegna del gas digitale mfc facendo clic sulla prima immagine in basso a destra.

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnacec Two Zones CSS Furnace

garanzia

un anno limitato con supporto a vita (parti di consumo come tubo al quarzo e lampade riscaldanti non sono coperte da garanzia).

laptop, software e amp; controllo wifi (opzionale)
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· nuovissimo laptop con microsoft windows 10 e microsoft office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per un utilizzo immediato.

· sistema di controllo della temperatura basato su labview ( EQ-mts01 ) consente all'utente di modificare il profilo della temperatura, gestire la ricetta del trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni mti.

· un telecomando wireless fornisce un raggio d'azione fino a 300 metri.

· le funzioni di cui sopra sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo (fino a $ 1.000). Vi preghiamo di contattarci per ulteriori informazioni.

· Nota: il software è compatibile solo con tmax Il regolatore di temperatura yudiano


note applicative e amp; avvertenze
Two Zones CSS Furnace

· i forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e bassa pressione & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000 ° c. la portata per i gas dovrebbe essere limitata a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) per ridurre gli shock termici alla provetta.

· Attenzione : è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 psi per un funzionamento sicuro.

· la pedana di questo forno è progettata per il trasporto a breve distanza sulla superficie piana




CSS Furnace









pacchetto:

1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, confezione esterna in scatola di legno per esportazione.

2 spedizione per espresso, via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà la parte danneggiata per te gratuitamente.

tempo di consegna : 15-20 giorni dopo la conferma dell'ordine, la data di consegna dettagliata deve essere decisa secondo

stagione di produzione e quantità dell'ordine.