struttura del forno
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forno, due regolatori di temperatura, misuratori di portata a gas a due canali sono integrati in un telaio mobile in lega di alluminio.
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la camera è realizzata in tubo di quarzo fuso di elevata purezza con dimensione di 11 "od / 10.8" id x 9 "h.
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le flange del vuoto sono realizzate in acciaio inossidabile 316 e sono sollevate da un motore elettrico.
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due piastre riscaldanti 5 "x5" e la distanza sono regolabili.
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il supporto del campione superiore è ruotabile alla velocità 0 - 7 rpm.
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la flangia superiore con un'apertura di aspirazione kfd-25 e un'uscita di gas (è necessario un tubo da 1/4 ") può scorrere su o giù manualmente per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato.
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la flangia inferiore ha una porta per vuoto kfd-25 con un ingresso per gas (è necessario un tubo da 1/4 ") con valvole a spillo.
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la flangia è sigillata da doppi anelli di tenuta in silicone e può raggiungere max. la pressione del vuoto di 10e-2 torr di una qualità pompa meccanica e 10e-5 torr da una pompa molecolare (la pompa del vuoto non è inclusa, da ordinare separatamente).
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un vacuometro digitale è installato sulla flangia superiore.
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Il vacuometro digitale anticorrosivo di precisione è in confezione standard (dal 2016.03.24) .
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riscaldatore e portacampioni
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due riscaldatori controllati indipendentemente con distanza regolabile manualmente da 2 a 30 mm.
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Le lampade alogene da 20 pezzi sono utilizzate come elemento riscaldante per un rapido trattamento termico.
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i riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con camicia fredda per ridurre le radiazioni di calore e sono in grado di raffreddarsi rapidamente.
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5 "di diametro. Il supporto per wafer circolare è incorporato nel riscaldatore superiore per trattenere il substrato.
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sono inclusi un set di piastre in alluminio ad alta conduttività termica (5 "di diametro x 0,5 mm di spessore) (posizionare sul retro del supporto per farlo riscaldare uniformemente).
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un refrigeratore d'acqua circolante da 58l / min è incluso per il risparmio della fonte d'acqua (fare clic sull'immagine qui sotto per vedere le specifiche dettagliate).
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il portacampione superiore è ruotabile a velocità regolabile 0 - 7 rpm
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regolatore di temperatura
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due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono il controllo indipendente dei riscaldatori superiori e inferiori.
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ogni controller ha una funzione di autotune pid per proteggere i riscaldatori dal superamento e una funzione di allarme per evitare che il surriscaldamento danneggi le coppie termiche.
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interfaccia di comunicazione per PC e amp; il software è installato per (fare clic sull'immagine sotto per i dettagli) registrando il profilo della temperatura mostrato come sotto.
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temperatura di lavoro
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temperatura massima per ciascun riscaldatore: ≤ 800ºc.
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differenza di temperatura massima tra due riscaldatori: ≤ 300ºc dipende dalla distanza tra due riscaldatori:
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distanza 30mm max. differenza di temperatura: 315ºc @ solo riscaldamento inferiore
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riscaldamento e amp; velocità di raffreddamento
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riscaldamento: & lt; 8ºc / s (solo riscaldamento singolo riscaldatore)
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raffreddamento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.
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coppia termale
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due coppie termiche di tipo k sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore.
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tensione di lavoro
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208 - 240vac, monofase, interruttore automatico 50a
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Requisiti di potenza
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10 kw totali
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peso di spedizione e amp; dimensione
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due pallet: 525 libbre e 48 "x 40" x 87 "e 165 libbre con dimensione 39x31x29"
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opzionale
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è necessaria una pompa per vuoto. si prega di ordinare separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra in basso. il livello di vuoto può raggiungere ≤ 10e-2 torr con pompa meccanica.
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se si utilizza gas corrosivo, utilizzare una trappola fredda o la pompa a secco anticorrosiva è mostrata nella figura 2-3 a un costo aggiuntivo.
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puoi scegliere il sistema di consegna del gas digitale mfc facendo clic sulla prima immagine in basso a destra.
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garanzia
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un anno limitato con supporto a vita (parti di consumo come tubo al quarzo e lampade riscaldanti non sono coperte da garanzia).
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note applicative e amp; avvertenze
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i forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e bassa pressione & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000 ° c. la portata per i gas dovrebbe essere limitata a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) per ridurre gli shock termici alla provetta.
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un ttention : è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 psi per un funzionamento sicuro.
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la pedana di questo forno è progettata per il trasporto a breve distanza sulla superficie piana (senza buche o dossi).
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Louis@lithmachine.com
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