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LITH-1200-SlidingPECMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 daysPosta elettronica :
Louis@lithmachine.commini zona a singola temperatura che scorre forno tubolare pecvd
lith-1200-slidingpec Il sistema è composto da forno a tubi sottovuoto tl1200, camera a vuoto al quarzo, alimentatore rf, sistema di alimentazione gas gx, sistema di pompaggio e sistema di misurazione del vuoto.
caratteristiche principali:
1. il gas nella camera del vuoto al quarzo viene trasformato in stato ionico tramite l'alimentazione rf.
2. pecvd è inferiore al normale cvd per la deposizione chimica da fase vapore.
3. lo stress dei film depositati può essere controllato dalla frequenza dell'alimentazione rf.
4. pecvd ha un alto tasso di deposizione, una buona uniformità, consistenza e stabilità rispetto al normale cvd.
5. ampiamente utilizzato nella crescita di vari film, come siox, sinx, sioxny e silicio amorfo (a-si: h), ecc.
il lith-1200-slidingpec tecnica del sistema per l'elemento riscaldante del filo di resistenza kanthal svedese, utilizzando una struttura a doppio guscio e una tabella di controllo della temperatura di programma, grilletto a cambiamento di fase, controllo a tiristore, forno utilizzando materiale in fibra di allumina policristallina, guarnizione di flangia in acciaio inossidabile su entrambe le estremità del tubo del forno, l'installazione della flangia in acciaio inossidabile ha una bocca, una valvola e un manometro, il vuoto, il grado di vuoto può raggiungere 10-3 pa, il bilanciamento del campo a bassa temperatura, la temperatura superficiale, il tasso di temperatura dell'ascensore, il risparmio energetico, le concessioni sui prezzi, ecc.
1. filo kanthal a1 resistenza della Svezia
Kanthal a1 fornace filo filo resistenza originale cinese vs fornace filo di resistenza importato
(1), l'alta temperatura superficiale può raggiungere 1420 ℃
(2) la superficie è in acciaio inossidabile (molto luminoso, il cliente dovrebbe prestare attenzione ad esso), non arrugginirà, e il tempo di utilizzo non cadrà dalle scorie.
(3) vengono scaricati i dati del filo di resistenza kanthal
(4) sito web kanthal resistance wire: www.kanthal.com
(5) la resistenza è bilanciata e il campo di temperatura è ugualmente buono
.jpg)
la maggior parte dei produttori usa la lega di fe-cr-al drogata con un filo di resistenza, che
a volte la resistenza è irregolare e parte del calore è piccola resistenza kanthal a1 è uniforme e calore bilanciato, buon effetto campo di temperatura
2. installazione di interruttore pneumatico e protezione perdite:
quando una corrente elettrica o una perdita, una riunione vuota si disconnette automaticamente.
3. può connettersi con il computer
questo forno è dotato di interfaccia di comunicazione e software, può essere direttamente attraverso il controllo computer del forno di ogni parametro, e può essere osservato dal computer pv sulla stufa e valore di temperatura sv e funzionamento dello strumento, la temperatura effettiva del computer di disegno curva forno in tempo reale, e in grado di mantenere i dati di temperatura di volta in volta, può richiamare in qualsiasi momento
4. Camera
(1 ) fornace in fibra policristallina ad alta allumina pura di alta qualità con aspirazione e modanatura del filtro.
(2). adottare la tecnologia giapponese per formare.
(3). la spaziatura e il passo del filo di resistenza nel forno sono disposti secondo la migliore tecnologia termica del Giappone, e il campo della temperatura è simulato dal software termico
(4). usando 4 settimane di riscaldamento, la temperatura è più equilibrata
5. quadro elettrico ul certificato opzionale (tutto attraverso la certificazione UL di apparecchi elettrici importati)
6. innesco
la limitazione della corrente di soft-start innesca la maggior parte dei produttori che utilizzano trigger di biamplificazione xiamen non limitanti
.jpg)
1 grilletto di sfasamento (con soft start e limitazione di corrente)
2. funzione di limitazione della corrente non importa come regolare il tempo di riscaldamento che fornace elettrica dopo la corrente secondaria del trasformatore è limitata a 170a o meno protezione limitata dell'apparecchiatura. trigger non limitativo se la velocità di riscaldamento è impostata in modo errato o troppo veloce. bassa corrente di corrente è molto grande il dispositivo si inciamperà o brucerà.
3 funzione soft-start la corrente aumenterà lentamente la corrente l'impatto dell'elemento riscaldante è piccolo è favorevole all'estensione della durata dell'elemento riscaldante
4 la funzione di protezione se la corrente supera la corrente limite il trigger interromperà automaticamente la funzione di trigger per interrompere il forno di protezione corrente.
7. trasformatore certificato UL
1 il cavo del trasformatore è in rame puro
2 il trasformatore sembra piccolo
3 la temperatura del trasformatore è bassa
8. una varietà di opzioni per scegliere una varietà di flange (diametro da 25 a 250mm)
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modello |
lith -1200-slidingpecvd1 |
lith -1200-slidingpecvd2 |
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energia |
1.5kw |
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dimensione del tubo |
dia25 (od) x1250mm |
Dia50 (od) x1250mm |
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dimensioni generali (lxdxh) |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
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la tensione di alimentazione |
220 v |
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materiale della guida di scorrimento |
Acciaio inossidabile 304 |
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modalità scorrevole |
Cuscinetto volvente in acciaio inossidabile |
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numero di fase |
monofase |
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termosifone |
importazione svedese canthal a1 resistenza filo clicca nel download dei dati |
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la modalità di controllo |
utilizzando il termometro di controllo del programma elettrico yu (standard)
Strumento di touchscreen per strumenti europei a tavola di controllo della temperatura fp93 (Shimaden) |
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la modalità di controllo della temperatura |
pid |
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protezione e display rotti |
sì |
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protezione da sovratemperatura |
sì |
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protezione da sovracorrente |
sì |
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controllo di precisione |
+ / - 1 ℃ |
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il grilletto |
grilletto di sfasamento |
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apparecchi elettrici |
Zhejiang Chint |
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raddrizzatore controllato al silicio |
106 / 16e porta ovest, Germania |
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la più alta temperatura |
temperatura zona1: 1200 ℃ zona di temperatura 2: 1200 ℃ |
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la temperatura nominale |
temperatura zona1: 1100 ℃ zona di temperatura 2: 1100 ℃ |
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velocità di riscaldamento |
il 20 ℃ / min o meno (può essere modificato in base al requisito ) |
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velocità di riscaldamento raccomandata |
10 ℃ / min o le S |
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modello di termocoppia |
zone 1: intervallo di temperatura di k tipo 2: tipo k |
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lunghezza di riscaldamento |
zone 1: intervallo di temperatura di 200 mm. 2: 200 mm |
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certificazione elettrica |
ce |
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temperatura della superficie circostante |
45 ℃ o les S |
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alimentatore rf |
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gamma di potenza |
0-500 w |
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massima potenza riflessa |
200 w. |
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frequenza di lavoro |
rf: 13,56 mhz più o meno 0,005% |
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stabilità di potenza |
+ / - 0,1% |
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componente armonica |
- 50 o meno dbc |
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larghezza rf |
0-600 - mm è regolabile |
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modalità di corrispondenza |
automatico |
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modalità di raffreddamento |
aria fredda |
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rumore |
il & lt; 50 db |
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l'interfaccia di radiofrequenza |
50 Ω n - tipo |
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potenza di ingresso |
208-240 - v 50/60 hz |
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parametri principali del sistema di alimentazione del gas gx
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misuratore di portata di massa |
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channles: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opzionale) |
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tipo di giunto |
connettore in acciaio inossidabile a doppia cassetta |
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campo di pressione del sistema di lavoro |
0,1 ~ 0,5 mpa |
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temperatura di lavoro |
5-45 ℃ |
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orologio sotto vuoto |
0,1 ~ 0,15 mpa a 0,01 mpa / caso |
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camera di miscelazione statica |
dia50 x 400 mm |
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interfaccia |
dia6 1/4 " |
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l'alimentazione |
220 v |
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taglia |
600 x 600 x 600 |
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tubo corrugato |
kf25x1000mm |
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il grado di vuoto può essere raggiunto con questo sistema |
10-1 il pa |
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valvola deflettrica a vuoto |
KF25 |
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pompa da vuoto vrd a 8 |
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modello |
da vrd a 8 |
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limitando la pressione parziale |
5 x10-2 pa |
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interfaccia di scarico in ingresso |
KF25 |
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velocità del motore |
1440 rpm |
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tasso di estrazione |
2,2 l / s |
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potenza del motore |
0,4 kw |
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perfeer acp1 pump radicale multistadio oil-free (piano 2) |
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modello |
acp15 |
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Alimentazione elettrica |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
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energia |
450 w |
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interfaccia di scarico |
KF25 |
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peso |
25 kg |
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il tasso massimo di perdita di elio è |
5 · 10-8 pa m3 / s |
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grado di vuoto estremo |
0,02 torr |
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il tasso di estrazione è |
14 m3 / h |
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modello |
zdr - 1 |
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|
energia |
25 w. |
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campo di misura del grado di vuoto |
0,1-10 5 pa |
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silicio di resistenza |
quale zj ha dovuto 52 t |
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misuratore di vuoto di capacità pirani sweden (infone) (opzionale) |
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modello |
pcg554 |
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tensione di ingresso |
24v 1a dc (dotato di trasformatore 220v) |
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interfaccia del vacuometro |
KF16 |
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Display digitale |
display digitale (dimensioni schermo 20x14mm), la cui unità di visualizzazione dati è torr |
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taglia del prodotto |
46 mm x 28 mm x 126 mm (l x w x h) |
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il peso del |
5 libbre |
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rilevamento di gas |
vari gas possono essere rilevati inclusi gas miscelati, accurati e ripetibili. |
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se l'anti-corrosione |
protezione dalla corrosione |
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il tempo di risposta |
30 ms o meno |
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campo di misura |
3,8 x10-5-1125 torr. |
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unità pompa molecolare (opzionale) |
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tensione di ingresso dell'unità |
380 v / 220 v |
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tubo corrugato |
kf40x1000 |
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valvola deflettrica a vuoto |
KF40 |
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dimensione del caso |
600 x 600 x 600 |
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pompa molecolare |
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modello di pompa molecolare |
fj620 |
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tensione di ingresso |
380 v |
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flangia di ingresso della pompa molecolare |
DN160 |
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portata di pompaggio molecolare l / s (per aria) |
600 |
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limite di pressione della pompa molecolare (pa) |
6 x 10-7 |
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sistema di raffreddamento |
acqua raffreddata |
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pressione dell'acqua di raffreddamento (mpa) |
Da 0,1 a 0,2 |
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temperatura dell'acqua di raffreddamento |
& Lt; 25 ℃ & Lt; p = "" & gt; |
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la temperatura dell'ambiente |
0 ~ 40 ℃ |
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suggerito di iniziare la pressione |
& Lt; 100 pa & lt; p = "" & gt; |
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pompa per vuoto motore rvp - 6 |
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energia |
0,75 kw |
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voltaggio |
380 v |
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velocità |
1450 giri al minuto |
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diametro di ingresso |
kf25 / kf40 |
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velocità di pompaggio della pompa (l / s) |
6 |
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massima pressione |
4 x 10-2 pa |
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pompa per vuoto tedesca pfeiffer |
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voltaggio |
220 v |
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energia |
110 w. |
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interfaccia di estrazione |
KF40 |
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il peso del |
150 kg |
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velocità della pompa della pompa anteriore |
0,9 m 3 / h |
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tasso di estrazione (n2) |
33 m / s |
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vacuometro composto |
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modello di vacuometro composto |
ZDF |
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l'alimentazione |
220 v 55 w |
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controllo di precisione |
più o meno 1% |
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campo di misura del vacuometro |
10-5-10 5 pa |
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