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struttura e amp; Caratteristiche
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Camera al quarzo da 6 "od x 10" h per una facile pulizia e caricamento del campione
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Porta campioni rotante diametro 2 "per rivestimento uniforme del film
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riscaldatore a spirale di tungsteno e crogiolo di allumina per rivestimento ad alta temperatura fino a 1700 ºc
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controllo di temperatura di precisione con 30 segmenti programmabili e precisione di +/- 1 ºc
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l'alto vuoto può essere raggiunto fino a 1,0e-5 torr tramite turbopompa opzionale
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la porta e la valvola del flusso di gas sono integrate per lo spurgo della camera e la possibilità di cvd
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potenza di ingresso
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tensione in ingresso: 208 - 240 vac 50/60 hz, monofase
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potenza in ingresso: 500 w
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potenza di uscita: 40 a corrente massima. corrente di funzionamento consigliata & lt; 20 a
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cavo di alimentazione incluso senza spina
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controllo della temperatura e amp; riscaldatori
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Il riscaldatore della bobina di tungsteno con una termocoppia è incorporato nella parte inferiore del crogiolo di allumina (per il controllo della temperatura (foto 1). Fare riferimento all'immagine a sinistra per le dimensioni
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termocoppia tipo s standard (inclusa e installata) - riscaldamento da 200 ºc a 1500 ºc (foto 2)
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termocoppia tipo B opzionale (a costo aggiuntivo) - riscaldamento da 1200 ºc a 1700 ºc
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un termoregolatore digitale con 30 segmenti programmabili e precisione di +/- 1 ºc (fig. 3)
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le impostazioni dell'ora del termoregolatore sono in secondi. consiglia di limitare la velocità di riscaldamento / raffreddamento della temperatura a 0,3 ºc / s (o 20 ºc / min) al di sotto di 1200 ºc e di limitare a 0,15 ºc / s (o 10 ºc / min) da 1200 a 1700 ºc
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per riscaldamento continuo oltre 1300 ºc, limitare il tempo di funzionamento a meno di 1 ora per preservare la vita utile dell'o-ring della flangia inferiore
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per un rivestimento rapido fino a 2000 ° C, come necessario per il rivestimento in carbonio, l'utente può rimuovere la termocoppia, il blocco termico in allumina e il crogiolo di allumina, caricare il materiale di evaporazione direttamente nel riscaldatore della bobina di tungsteno e utilizzare la modalità di controllo manuale corrente (foto 4 )
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sono inclusi quattro crogioli di allumina (fino a 1700 ºc) e due riscaldatori a spirale di tungsteno. si prega di fare riferimento alla sezione opzionale per ordinare pezzi di ricambio
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supporto del campione
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un diametro di 50 mm. il palcoscenico girevole e il relativo otturatore sono installati sulla flangia superiore.
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velocità di rotazione: 5 rpm
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la distanza dal supporto del campione alla sorgente di evaporazione è regolabile da 40 mm a 85 mm
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monitor dello spessore del film (opzionale)
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sensore di spessore al quarzo di precisione è facoltativo. può essere integrato nella camera per fornire un monitoraggio istantaneo dello spessore del film con una precisione di 0,10 Å. display a led esterno alla camera può:
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inserire le informazioni sul materiale di rivestimento in base al database incluso
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visualizzare lo spessore totale del rivestimento e la velocità del rivestimento
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precisione film sottile e amp; sistemi di analisi del rivestimento - eq-tfms-ld è disponibile a un costo aggiuntivo
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vuoto
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La porta per vuoto kf25 è installata per il collegamento a una pompa per vuoto
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il vuoto più alto può raggiungere & lt; 4.0e-6 torr pompando durante la notte con la pompa turbomolecolare opzionale
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è necessaria una pompa per vuoto per il rivestimento. si prega di scegliere tra le seguenti opzioni di prodotto
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nessuna pompa del vuoto. diaframma di capacità anticorrosiva è incluso per il vuoto fino a 1.0e-6 torr
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pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio con trappola di vapore per eliminare la nebbia d'olio, che può raggiungere il vuoto fino a 1,0e-2 torr per l'evaporazione di materiali metallici nobili, come oro, argento e materiali organici.
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ingresso gas
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Il raccordo da 1/4 di tubo è incorporato per lo spurgo della camera o la formazione di gas
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una valvola a spillo è integrata per controllare la portata del gas
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opzionale
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extra crogiolo di allumina e riscaldatore della bobina del tungsteno può essere ordinato su tmax a un costo aggiuntivo
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in totale 4 crogioli di evaporazione potrebbero essere usati per depositare materiali diversi per far crescere i multistrati uno ad uno nella stessa atmosfera della camera.
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la dimensione complessiva
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dimensione della camera al quarzo
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o.d.:165mm
d .: 150mm
lunghezza: 250mm
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conformità
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garanzia
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una garanzia limitata di un anno con supporto a vita
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peso netto
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peso di spedizione e amp; dimensioni
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130 libbre, 40 "x 30" x 32 "
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note applicative
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per raggiungere l'alto vuoto richiesto per l'evaporazione di alcuni materiali, l'utente può
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controllare la camera, l'O-ring e la flangia per verificare l'eventuale presenza di particelle, fibre o graffi. utilizzare un panno privo di lanugine bagnato con alcool isopropilico (ipa) per pulire la superficie
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utilizzare un nastro riscaldatore per cuocere la camera a 150 ° C e preriscaldare il riscaldatore della bobina e il crogiolo a 500 ° C durante il pompaggio con la pompa turbo opzionale per almeno 2 ore
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pompare la camera durante la notte senza riscaldamento se è necessario un vuoto superiore a 1,0e-5 torr
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il rivestimento può essere inserito in un vano portaoggetti a gas ar o n2 per l'evaporazione termica dell'umiltà & amp; materiali sensibili all'ossigeno, come li metal.
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non avviare il programma di riscaldamento o aumentare manualmente la corrente senza una camera chiusa e un vuoto!
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non rilasciare il vuoto o interrompere il pompaggio quando il dispositivo di rivestimento è in fase di evaporazione! durante il raffreddamento del riscaldatore, interrompere il pompaggio o rilasciare il vuoto solo quando la temperatura è inferiore a 100 ° C!
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