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LITH-1200X-RTP-HV-LDMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 daysPosta elettronica :
Louis@lithmachine.compiccolo sistema di fornaci a tubo rtp da 4 "con stazione per vuoto turbomolecolare e accessori completi
lith-1200x-RTP-hv-ld è un tubo di trattamento termico compatto ultracompatto (4 ") con stazione di alto vuoto (pompa a diaframma + pompa molecolare turbo) e gruppo flangia vuoto kf-d25, progettato per la ricottura di wafer a semiconduttore o cella solare fino a 3" di diametro. il la fornace è riscaldata da 8 unità di 1kw di luce alogena attorno al tubo di lavorazione con un max. velocità di riscaldamento di max. 50c / secondo. Il regolatore di temperatura di precisione a 50 segmenti è integrato con precisione +/- 1 ° c.
forno |
struttura |
compatto forno a tubi rtp da 4 " ( rivestimento in acciaio a doppio strato rivestimento in mullite) |
termosifone |
Tubo luminoso alogeno 8 pezzi (d = 10 l = 300 t = 200, mm) |
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temperatura di lavoro |
1100 ° C max. ( il tempo massimo di mantenimento di questo forno rtp deve essere inferiore a 600 secondi a 1000ºc ~ 1100ºc, altrimenti l'o-ring potrebbe sciogliersi ) |
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velocità massima di riscaldamento |
50 ° c / sec |
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massima velocità di raffreddamento |
64 ° c / min (sotto vuoto: 200 mtorr), 117 ° c / min (sotto pressione atmosferica) |
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zona di riscaldamento |
12 "lunghezza con 4" zona di temperatura costante entro +/- 1 ° c uniformità |
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programma temp. controllore |
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tubo al quarzo & amp; portacampioni |
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flangia del vuoto |
La flangia per alto vuoto kf-d25 è realizzata in acciaio inossidabile con doppio hi-temp. o-ring in silicone, valvole a spillo. |
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giacca di raffreddamento ad acqua |
avvertenza: il tempo massimo di dimora di questo forno rtp deve essere inferiore a 600 secondi a 1000ºc ~ 1100ºc con acqua di rubinetto, altrimenti l'o-ring potrebbe fondersi. con l'uso di un refrigeratore d'acqua a ricircolo, questo tempo di mantenimento può essere esteso a 1200 secondi. |
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misuratore di flusso |
un flussometro è installato sul pannello anteriore per regolare il flusso di gas da 0 a 160 ml / min |
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Ingresso alimentazione |
208-240 ac, 50/60 hz monofase, 9 kw max. (& gt; 60a interruttore richiesto) |
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stazione hv |
struttura |
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grado di vuoto |
6.3e-5 mbar (con forno per tubi rtp da 4 "in 40 minuti) |
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pannello di controllo |
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autodiagnosi girando su
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tempo di avvio |
2 minuti |
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portata volumetrica della pompa di prevuoto a 10 mbar |
3,8 l / min per 50hz e 4,4 l / min per 60hz |
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Ingresso alimentazione |
110v ac o 220v ac commutabile, 50 / 60hz |
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consumo di energia |
durata / potenza massima: 100/110 watt |
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informazioni di spedizione |
peso e dimensione |
forno rtp: 110 libbre, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "pollici) l x w x h |
garanzia |
due anni di garanzia limitata con supporto a vita (parti di consumo come tubi di processo, o-ring non sono coperti dalla garanzia, si prega di ordinare i ricambi ai prodotti correlati di seguito.) |
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laptop, software e amp; controllo wifi (opzionale) |
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conformità |
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1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno.
2 spedizione per espresso, per via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.
3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata per te.
tempo di consegna : 15-20 giorni dopo la conferma dell'ordine, la data di consegna del dettaglio deve essere decisa secondo
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