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piccolo sistema di fornaci a tubo rtp da 4 "con stazione di aspirazione turbomolecolare e accessori completi

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  • Contact Person : Louis Yang
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  • Indirizzo : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
piccolo sistema di fornaci a tubo rtp da 4 "con stazione di aspirazione turbomolecolare e accessori completi

piccolo sistema di fornaci a tubo rtp da 4 "con stazione di aspirazione turbomolecolare e accessori completi

  • :

    LITH-1200X-RTP-HV-LD
  • MOQ :

    1
  • :

    30 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    30 days
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piccolo sistema di fornaci a tubo rtp da 4 "con stazione per vuoto turbomolecolare e accessori completi


lith-1200x-RTP-hv-ld è un tubo di trattamento termico compatto ultracompatto (4 ") con stazione di alto vuoto (pompa a diaframma + pompa molecolare turbo) e gruppo flangia vuoto kf-d25, progettato per la ricottura di wafer a semiconduttore o cella solare fino a 3" di diametro. il la fornace è riscaldata da 8 unità di 1kw di luce alogena attorno al tubo di lavorazione con un max. velocità di riscaldamento di max. 50c / secondo. Il regolatore di temperatura di precisione a 50 segmenti è integrato con precisione +/- 1 ° c.


forno

struttura

compatto forno a tubi rtp da 4 " ( rivestimento in acciaio a doppio strato rivestimento in mullite)

termosifone

Tubo luminoso alogeno 8 pezzi (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

temperatura di lavoro

1100 ° C max. ( il tempo massimo di mantenimento di questo forno rtp deve essere inferiore a 600 secondi a 1000ºc ~ 1100ºc, altrimenti l'o-ring potrebbe sciogliersi )

velocità massima di riscaldamento

50 ° c / sec

massima velocità di raffreddamento

64 ° c / min (sotto vuoto: 200 mtorr), 117 ° c / min (sotto pressione atmosferica)

zona di riscaldamento

12 "lunghezza con 4" zona di temperatura costante entro +/- 1 ° c uniformità

programma temp. controllore

  • controllo automatico pid via scr (raddrizzatore controllato al silicio) controllo di potenza con angolo di fase sparato, resistenza di limitazione di corrente.
  • 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di sosta.
  • per favore clicca qui per sapere perché scr è più preciso di ssc (relè a stato solido).
  • costruito nella funzione di auto-tam pid con surriscaldamento e amp; protezione rotta rotta termocoppia.
  • protezione da sovratemperatura e allarme consente il funzionamento senza addetto / i.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ° C.
  • porta di comunicazione RS485.
  • controllo del pc:
    • un MTS-02 modulo di controllo è incluso per il controllo del PC su questo forno.
    • la nuova versione del modulo pc è ora compatibile con la vista laboratorio 05/08/2014
    • un PC portatile può essere ordinato per $ 900 insieme al forno. consigliamo di ordinare un computer (laptop) da noi per evitare problemi di installazione del software come eseguiremo installazione e test prima della spedizione .

tubo al quarzo & amp; portacampioni

  • dimensione del tubo di quarzo: 4.33 "o.d x 4.05" i.d x 16.2 "di lunghezza
  • Il porta campione da 3 "di diametro è inserito nella flangia scorrevole, che è in quarzo
  • un wafer aln di diametro 3 "è posto nel centro del supporto per ricottura campione fino a 3" dia.
  • aln ha una conduttività termica molto elevata, che fornisce la migliore uniformità di temperatura nell'area del campione
  • il porta campioni è rimovibile dalla flangia

flangia del vuoto

La flangia per alto vuoto kf-d25 è realizzata in acciaio inossidabile con doppio hi-temp. o-ring in silicone, valvole a spillo.
la flangia scorrevole facilita il caricamento del campione. 3 "portacampioni di quarzo. Coppia termica integrabile per misurazioni accurate.

giacca di raffreddamento ad acqua

  • è richiesta acqua di raffreddamento.
  • assicurarsi che la portata dell'acqua di raffreddamento sia ≥ 10 l / min, temperatura dell'acqua. & Lt; 25 ° C; pressione & gt; 25 psi.
  • consigliamo di utilizzare la serie eq-kj5000 refrigeratore d'acqua a ricircolo come sistema di raffreddamento (si prega di ordinare separatamente i prodotti correlati di seguito) per risparmiare acqua.

avvertenza: il tempo massimo di dimora di questo forno rtp deve essere inferiore a 600 secondi a 1000ºc ~ 1100ºc con acqua di rubinetto, altrimenti l'o-ring potrebbe fondersi. con l'uso di un refrigeratore d'acqua a ricircolo, questo tempo di mantenimento può essere esteso a 1200 secondi.

misuratore di flusso

un flussometro è installato sul pannello anteriore per regolare il flusso di gas da 0 a 160 ml / min

Ingresso alimentazione

208-240 ac, 50/60 hz monofase, 9 kw max. (& gt; 60a interruttore richiesto)

stazione hv
stazione di alto vuoto

struttura

  • Dimensioni del carrello mobile: 600 (l) x 600 (w) x 700 (w), mm
  • max. caricamento: 600 libbre in cima
  • Pannello di controllo pompa molecolare: LCD digitale
  • pompa a diaframma e turbo pompa molecolare sono installati all'interno della cassa in acciaio.

grado di vuoto

6.3e-5 mbar (con forno per tubi rtp da 4 "in 40 minuti)

pannello di controllo

  • operazione con un solo pulsante - la pompa del diaframma e la pompa molecolare del turbo si avviano dopo aver premuto il pulsante "start".
  • velocità di spining controllata dal sistema - il controllore controllerà la velocità della turbina spining su e giù in base al livello di vuoto e alla percentuale di fuoriuscita della camera di reazione.
  • auto protezione - il sistema proteggerà la pompa da danni da surriscaldamento e da sovracorrente se il tasso di perdita della camera di reazione è troppo alto per raggiungere un vuoto elevato.
  • Schermo a cristalli liquidi - interfaccia per il controllo dei parametri delle doppie linee rendere il lavoro più facile da gestire.
autodiagnosi girando su

tempo di avvio

2 minuti

portata volumetrica della pompa di prevuoto a 10 mbar

3,8 l / min per 50hz e 4,4 l / min per 60hz

Ingresso alimentazione

110v ac o 220v ac commutabile, 50 / 60hz

consumo di energia

durata / potenza massima: 100/110 watt

informazioni di spedizione

peso e dimensione

forno rtp: 110 libbre, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "pollici) l x w x h
stazione alta: 40 libbre, 600 x 600 x 700 mm (24 "x 24" x 28 ") l x w x h

garanzia

due anni di garanzia limitata con supporto a vita (parti di consumo come tubi di processo, o-ring non sono coperti dalla garanzia, si prega di ordinare i ricambi ai prodotti correlati di seguito.)

laptop, software e amp; controllo wifi (opzionale)

  • laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per uso immediato.
  • sistema di controllo della temperatura basato su labview consente all'utente di modificare il profilo di temperatura, gestire la ricetta di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni mti.
  • un telecomando wireless offre un raggio operativo fino a 300 metri.
  • le funzioni di cui sopra sono disponibili su richiesta ad un costo aggiuntivo (fino a $ 1.000). Vi preghiamo di contattarci per ulteriori informazioni.

conformità

  • ce certificato
  • la fornace è pronta per passare ul 61010, iec 61010, spe-1000 testato da nrtls ad un costo extra. si prega di contattarci per preventivo e informazioni dettagliate.
  • il regolatore di temperatura è soddisfatto e certificato CE
  • la stazione di alto vuoto è certificata TUV



Tube Furnace









pacchetto:

1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno.

2 spedizione per espresso, per via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata per te.

tempo di consegna : 15-20 giorni dopo la conferma dell'ordine, la data di consegna del dettaglio deve essere decisa secondo

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