Posta elettronica:Louis@lithmachine.com
Prodotti
Casa Prodotti Lab Coater Sputtering Coater

Macchina per rivestimento a sputtering al plasma con 3 target rotanti con riscaldatore 500c

Contattaci

  • Contact Person : Louis Yang
  • Posta elettronica : Louis@lithmachine.com
  • Indirizzo : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Macchina per rivestimento a sputtering al plasma con 3 target rotanti con riscaldatore 500c

Macchina per rivestimento a sputtering al plasma con 3 target rotanti con riscaldatore 500c

  • :

    VTC-16-3HD-LD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Posta elettronica :

    Louis@lithmachine.com

Macchina per rivestimento a sputtering al plasma con 3 target rotanti con riscaldatore 500c



vtc-16-3hd-ld è un rivestimento sputtering al plasma a tre obiettivi rotanti compatto certificato ce con un controller digitale touch screen e un riscaldatore del substrato in grado di riscaldare fino a 500 ° c. può rivestire 1-3 tipi di materiali metallici da campionare con un diametro fino a 50 mm. tre bersagli sputtering: oro, argento, rame sono inclusi per l'uso immediato. ( aggiornato il 21 agosto 2015: aggiungi scudo / senza pompa )

specifiche:

potenza di ingresso

  • 220 vac monofase, 50 / 60hz
  • 700 w (compresa la pompa per vuoto)
  • per l'utilizzo di 110 vac, includeremo un trasformatore per te. selezionare la tensione nelle opzioni del prodotto

potenza di uscita

  • 1600 vdc
  • 40 ma max

Camera sottovuoto

  • camera a vuoto: 150 mm id x 165mm od x 150 mm h, realizzata in quarzo di elevata purezza
  • flangia di tenuta in acciaio inossidabile con o-ring piatto

palco campione con riscaldamento

  • dimensione del palcoscenico: 50 mm di diametro
  • distanza di sputtering: 25 - 40 mm regolabile
  • palco girevole con tre posizioni di sputtering (controllato dal touch screen)
  • riscaldatore del substrato è incorporato con una temperatura di riscaldamento massima di 500 ° c
  • il regolatore di temperatura pid con precisione di +/- 1 ° c è integrato nel touchscreen

pannello di controllo

  • Touchscreen a colori da 6 "con integrazione plc per un facile utilizzo
  • vacuometro, misuratore di corrente di sputtering e controllo della temperatura del substrato sono integrati nel pannello touchscreen
  • manopole di regolazione sul pannello frontale per il controllo della corrente di aspirazione e sputtering del gas
  • la posizione di sputtering, il timer di sputtering e la registrazione dei processi sono accessibili dal touchscreen

scudo

  • acciaio inossidabile gabbia dello scudo è incluso per una protezione aggiuntiva

sputtering obiettivi

  • requisiti di dimensione target: 47 mm di diametro x 2,5 mm max
  • tre obiettivi sono inclusi nel pacchetto standard per l'uso immediato:
    • al bersaglio , 47 mm dia. x 0,12 mm
    • un bersaglio ag , 47 mm dia. x 0,5 mm
    • bersaglio cu , 47 mm dia. x 2,5 mm
  • vari obiettivi sono disponibili per ordinare su tmax

pompa a vuoto
(opzionale)




  • porta per vuoto integrata kf25 per il collegamento a una pompa per vuoto.
  • è richiesta una pompa per vuoto con connettore kf25, ma non inclusa. l'utente può scegliere
    • un pompa per vuoto meccanica a doppio stadio per vuoto fino a 1,0e-2 torr.
    • o a pompa turbo per vuoto fino a 1,0e-5 torr
  • la pompa per vuoto può essere collegata alla presa di corrente a sinistra del rivestimento per il controllo automatico

dimensioni

  • 440 mm l × 330 mm l × 455 mm h

peso netto

  • 50 kg

conformità

  • approvazione ce
  • la certificazione met (ul 1450) è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo, si prega di contattare il nostro rappresentante di vendita per un preventivo

garanzia

  • un anno limitato con supporto a vita

note applicative

  • per la migliore resistenza di adesione pellicola-substrato, pulire la superficie del substrato prima del rivestimento:
    • pulizia ad ultrasuoni con i seguenti bagni sequenziali - (1) acetone, (2) alcool isopropilico - per rimuovere olio e grasso. asciugare il substrato con n2, quindi cuocere a caldo sotto vuoto per rimuovere l'umidità assorbita
    • la pulizia al plasma può essere necessaria per irruvidire la superficie, attivare i legami chimici superficiali o rimuovere la contaminazione aggiuntiva
    • uno strato tampone sottile (~ 5 nm), come cr, ti, mo, ta, potrebbe essere applicato per migliorare l'adesione di metalli e leghe
  • un regolatore di pressione a due stadi (non incluso) deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione di uscita del gas a meno di 0,02 mpa per un utilizzo sicuro. per favore usa & gt; 5n di purezza ar gas per sputtering al plasma
  • il rivestimento sputtering può essere inserito in una scatola di guanti a gas ar e n2 per il rivestimento
  • alta tensione! le teste sputtering si collegano all'alta tensione. per sicurezza, l'operatore deve spegnere l'apparecchiatura prima del caricamento del campione e delle operazioni di cambio target
  • questo modello non è adatto per il rivestimento di materiali metallici leggeri come al, mg, zn, ni, ecc. a causa della bassa energia. si prega di considerare il nostro rivestimento sputtering magnetron o rivestimento di evaporazione termica. clicca le immagini qui sotto per i dettagli




Plasma Sputtering Coater









pacchetto:

1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, confezione esterna in scatola di legno per esportazione.

2 spedizione per espresso, via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà la parte danneggiata per te gratuitamente.

tempo di consegna : 15-20 giorni dopo la conferma dell'ordine, la data di consegna dettagliata deve essere decisa secondo

stagione di produzione e quantità dell'ordine.