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potenza di ingresso
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220 vac monofase, 50 / 60hz
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700 w (compresa la pompa per vuoto)
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per l'utilizzo di 110 vac, includeremo un trasformatore per te. selezionare la tensione nelle opzioni del prodotto
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potenza di uscita
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Camera sottovuoto
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camera a vuoto: 150 mm id x 165mm od x 150 mm h, realizzata in quarzo di elevata purezza
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flangia di tenuta in acciaio inossidabile con o-ring piatto
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palco campione con riscaldamento
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dimensione del palcoscenico: 50 mm di diametro
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distanza di sputtering: 25 - 40 mm regolabile
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palco girevole con tre posizioni di sputtering (controllato dal touch screen)
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riscaldatore del substrato è incorporato con una temperatura di riscaldamento massima di 500 ° c
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il regolatore di temperatura pid con precisione di +/- 1 ° c è integrato nel touchscreen
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pannello di controllo
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Touchscreen a colori da 6 "con integrazione plc per un facile utilizzo
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vacuometro, misuratore di corrente di sputtering e controllo della temperatura del substrato sono integrati nel pannello touchscreen
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manopole di regolazione sul pannello frontale per il controllo della corrente di aspirazione e sputtering del gas
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la posizione di sputtering, il timer di sputtering e la registrazione dei processi sono accessibili dal touchscreen
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scudo
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acciaio inossidabile gabbia dello scudo è incluso per una protezione aggiuntiva
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sputtering obiettivi
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requisiti di dimensione target: 47 mm di diametro x 2,5 mm max
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tre obiettivi sono inclusi nel pacchetto standard per l'uso immediato:
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al bersaglio , 47 mm dia. x 0,12 mm
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un bersaglio ag , 47 mm dia. x 0,5 mm
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bersaglio cu , 47 mm dia. x 2,5 mm
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vari obiettivi sono disponibili per ordinare su tmax
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pompa a vuoto
(opzionale)
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porta per vuoto integrata kf25 per il collegamento a una pompa per vuoto.
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è richiesta una pompa per vuoto con connettore kf25, ma non inclusa. l'utente può scegliere
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un pompa per vuoto meccanica a doppio stadio per vuoto fino a 1,0e-2 torr.
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o a pompa turbo per vuoto fino a 1,0e-5 torr
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la pompa per vuoto può essere collegata alla presa di corrente a sinistra del rivestimento per il controllo automatico
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dimensioni
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440 mm l × 330 mm l × 455 mm h
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peso netto
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conformità
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approvazione ce
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la certificazione met (ul 1450) è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo, si prega di contattare il nostro rappresentante di vendita per un preventivo
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garanzia
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un anno limitato con supporto a vita
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note applicative
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per la migliore resistenza di adesione pellicola-substrato, pulire la superficie del substrato prima del rivestimento:
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pulizia ad ultrasuoni con i seguenti bagni sequenziali - (1) acetone, (2) alcool isopropilico - per rimuovere olio e grasso. asciugare il substrato con n2, quindi cuocere a caldo sotto vuoto per rimuovere l'umidità assorbita
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la pulizia al plasma può essere necessaria per irruvidire la superficie, attivare i legami chimici superficiali o rimuovere la contaminazione aggiuntiva
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uno strato tampone sottile (~ 5 nm), come cr, ti, mo, ta, potrebbe essere applicato per migliorare l'adesione di metalli e leghe
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un regolatore di pressione a due stadi (non incluso) deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione di uscita del gas a meno di 0,02 mpa per un utilizzo sicuro. per favore usa & gt; 5n di purezza ar gas per sputtering al plasma
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il rivestimento sputtering può essere inserito in una scatola di guanti a gas ar e n2 per il rivestimento
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alta tensione! le teste sputtering si collegano all'alta tensione. per sicurezza, l'operatore deve spegnere l'apparecchiatura prima del caricamento del campione e delle operazioni di cambio target
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questo modello non è adatto per il rivestimento di materiali metallici leggeri come al, mg, zn, ni, ecc. a causa della bassa energia. si prega di considerare il nostro rivestimento sputtering magnetron o rivestimento di evaporazione termica. clicca le immagini qui sotto per i dettagli
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