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spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc

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spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc

spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc

  • :

    VTC-16-SM
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Posta elettronica :

    Louis@lithmachine.com

spalmatrice compatta per rivestimento sproning magnetron dc con integrazione plc



vtc-16-sm è un ad alta potenza del desktop magnetron spalmatore al plasma con un testa target 2 "raffreddamento ad acqua , refrigeratore d'acqua e supporto del campione ruotabile. l'unità di rivestimento è progettata per il rivestimento di tutti i film metallici fino a Wafer di diametro 4 " Compreso zn, al, ti e carbon film leggero ad un costo accessibile. un obiettivo è incluso per l'uso immediato. ( dal 18 maggio 2015, questo prodotto non viene più fornito con pompa per vuoto in confezione standard. )

specificazioni

tensione di ingresso

  • 220 vac 50 / 60hz
  • L'alimentazione a 110 v è disponibile utilizzando a Trasformatore da 1000 w (15 a fusibile ). il trasformatore viene venduto separatamente.

potenza di uscita

  • 1600 vdc
  • 250 w
  • 150 ma max.
  • protezione da sovracorrente integrata (& gt; 150 ma)

camera dei campioni

  • tubo di vetro al quarzo, 165 mm od. x 150 mm id x 250 mm altezza


sputtering head & amp;
fase del campione


  • 2 "testa flessibile sputtering magnetron con camicia di raffreddamento ad acqua inclusa (fig.1)
  • uno stadio di campionamento in acciaio inossidabile con diametro di 50 mm è ruotabile da 0 a 5 giri / min
  • un otturatore azionato manualmente per la protezione del bersaglio. (Fig.2)
  • il supporto della testa sputtering è disponibile per contenere la testa sputtering mentre non è in funzione.
  • la distanza tra la testa sputtering e il palcoscenico è regolabile da 60 a 100 mm.
  • area di rivestimento massima: 4 "diametro max.
  • uno refrigeratore d'acqua ricircolo aria fredda portata 10 l / min è incluso per il raffreddamento della testina sputtering. (Fig.6)

pannello di controllo

  • Pannello di controllo touch-screen a colori da 6 "con integrazione plc per un facile utilizzo
  • un pannello per tutti i parametri di monitoraggio e controllo: vuoto, corrente.

massima pressione del vuoto

  • porta per vuoto incorporata kf25
  • il sistema richiede un serbatoio di gas ar con regolatore di pressione. (non incluso)
  • & Lt; 1.0e-2 torr di pompa a vuoto a palette (non inclusa) per target au, ag, pt, cu, mo (non sensibile all'aria)
  • & Lt; 1.0e-5 torr di pompa turbomolecolare (non inclusa) per target al, mg, li, lr, ti, zn (sensibile all'aria)
  • il vuoto più basso può raggiungere & lt; 4.0e-6 torr pompando durante la notte e cuocendo

atmosfera di gas

  • una valvola a spillo installata per consentire l'ingresso del gas ar per ottenere un migliore rivestimento al plasma
  • il sistema richiede un serbatoio di gas ar con il regolatore di pressione (non incluso)


bersaglio

· un obiettivo da 2 "in rame è incluso per il test, dimensioni obiettivo: 2" diametro 2,5 mm.

  • può anche ricoprire ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg , ecc. quasi ogni tipo di materiale metallico.
  • avvertimento : bersaglio in alluminio, cromo o nichel può essere rivestito con questa macchina, ma si prega di consultare il metodo di rivestimento consigliato prima dell'uso.
  • utilizzare sputtering al magnetron al plasma RF per il rivestimento di allumina

monitor di spessore del film opzionale

  • il monitor dello spessore del film è opzionale a un costo aggiuntivo
  • Il palcoscenico riscaldabile fino a 500 ° c è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo
  • misuratore di portata per un accurato ingresso del gas di controllo è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo.

la dimensione complessiva

  • l 440 mm × larg 330 mm × h 290 mm

peso netto

  • 20 kg

peso di spedizione e amp; dimensione

  • 160 libbre
  • 45 "x 45" x 40 "

conformità

  • approvazione ce
  • la certificazione nrtl è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo, si prega di contattare il nostro rappresentante di vendita per un preventivo.

garanzia

  • un anno limitato con supporto a vita

note applicative

  • attenzione: la testa sputtering si collega all'alta tensione. l'operatore deve indossare i guanti durante il funzionamento
  • assicurarsi che il bersaglio, la testa sputtering, il substrato e lo stadio di riscaldamento siano puliti prima del rivestimento, è necessario utilizzare carta vetrata e alcool per pulire e rinfrescare il bersaglio in al o nichel ogni volta che lo si utilizza.




Magnetron Sputtering Coater









pacchetto:

1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, confezione esterna in scatola di legno per esportazione.

2 spedizione per espresso, via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

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